衬底温度对ZnO:Mn薄膜结构及光电性质的影响

杨天勇孔春阳阮海波秦国平黄桂娟李万俊梁薇薇孟详丹赵永红方亮 · 2011

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薄膜

衬底温度

光电性能

光致发光

出版社：

美国科研出版社（Scientific Research Publishing, USA）

会议名称：

加速功能材料自主创新，促进西部战略性新兴产业发展——2011中国功能材料科技与产业高层论坛

会议时间：

2011-11-16 00:00:01

会议地点：

中国重庆

摘要：

采用射频磁控溅射法在不同衬底温度下制备了ZnO:Mn薄膜,借助X射线衍射、场发射扫描电镜、荧光光谱、霍尔测试等手段分析了衬底温度对薄膜结构及光电性质的影响。研究表明衬底温度的升高不仅可以改善薄膜的结晶质量和表面形貌,提高薄膜的带边发射(NBE),而且在一定程度上还能够抑制Zn填隙及其相关缺陷的生成。薄膜中缺陷浓度的变化对样品的电学性能有着一定的影响。