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质量分离低能离子束制备极光滑类金刚石薄膜
刘志凯 廖梅勇 姚振钰 柴春林 杨少延 王占国 · 2001
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阅读量：12
类金刚石薄膜
质量分离离子束沉积
表面形貌
出版社：
重庆仪表材料研究所、中国仪器仪表学会仪表材料学会、《功能材料》编辑部、国家仪表功能材料工程技术研究中心
会议名称：
第四届中国功能材料及其应用学术会议
会议时间：
2001-10-01 00:00:01
会议地点：
中国厦门
摘要：
本文利用质量分离的低能离子束技术沉积得到了表面极为平整的类金刚石薄膜。样品用Raman谱和原子力显微镜进行了分析。并且研究了沉积能量对表面形貌和成分的影响。
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