用于微机器人定位的硅微超声换能器阵列的研制

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用于微机器人定位的硅微超声换能器阵列的研制

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超声换能器阵列

氮化硅薄膜

会议名称：

2007’促进西部发展声学学术交流会

会议时间：

2007-09

会议地点：

中国湖南张家界

摘要：

本文介绍一种四阵元硅微超声挟能器阵列的制作方法,并提出基于该阵列的三维声学定位算法,可以应用于微机器人的定位以及对周围环境的识别与探测.该硅微超声换能器阵列采用氮化硅薄膜作为振动膜,采用 ZnO 薄膜作为压电材料传感信号.本文采用微加工技术制作了硅微超声换能器,运用有限元方法分析了其振动特性,并进行了初步的测量.

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