综合
综合
专家
记者
成果
新闻
观点
活动
智库首页 > 智库成果 > 会议论文
一种以多晶硅为振动膜的MEMS传声器研制
乔东海 田静 徐联 汪承灏 · 2005
收藏
阅读量：21
电容式传声器
MEMS器件
多晶硅薄膜
磷硅玻璃牺牲层
出版社：
中国机械工程杂志社
会议名称：
中国微米、纳米技术第七届学术会年会
会议时间：
2005-08-01 00:00:01
会议地点：
中国大连
摘要：
给出了以磷掺杂的多晶硅为振动膜的电容式MEMS传声器的研制过程。从等效电路模型出发,研究了电容式MEMS传声器的振动特性和灵敏度,给出了传声器灵敏度随振动膜张力、膜与背板间的空气隙厚度、背板声孔大小及背板声孔所占面积而变化的解析表达式。结合硼掺杂硅/硅复合背板结构MEMS传声器,提供了参考制作工艺流程。样品测试在1kHz频率处的灵敏度达到-60dB(相对于1V/Pa)。
相关专家
相关课题