原子光刻中激光感生荧光与激光失谐量关系的分析

刘杰李同保程鑫彬马艳陈杰邓晓 · 2015

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激光汇聚原子沉积

原子束

激光感生荧光

失谐量

会议名称：

上海市激光学会2015年学术年会

会议时间：

2015-12-16 00:00:01

会议地点：

中国上海

摘要：

激光汇聚原子沉积是一种制备纳米长度标准的新方法,主要研究原子束、激光束的特性以及两者的相互作用。原子束的速度和空间通量分布等特性对于控制激光稳频频率的获取,原子束冷却效果以及汇聚沉积的结果等关键实验环节有重要影响。而原子束不能被直接实时观察,并且准确掌握原子束的横向特性是展开原子光刻纳米光栅制备的主要难度之一。本文对原子束的横向特性进行理论分析,实验论证原子束的横向特性,以及利用原子束和激光束相互作用的感生荧光,对荧光图像与激光失谐量的关系进行研究,实现稳频频率获取。