基于改进型硅微加工工艺的低损耗毫米波固定波束漏波天线设计

刘培钦李越张志军冯正和 · 2017

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改进型硅微加工工艺

毫米波

空气介质

低损耗

出版社：

西安电子科技大学出版社

会议名称：

2017年全国天线年会

会议时间：

2017-10-16 00:00:01

会议地点：

中国陕西西安

摘要：

本文提出了一种利用改进型硅微加工工艺设计低损耗毫米波固定波束漏波天线的方法。利用改进型硅微加工工艺,可以对硅基板进行贯穿式蚀刻以及表面镀金处理。因此该工艺很适合用来设计空气介质天线,从而降低毫米波频段天线的介质损耗,提高天线的性能。基于该工艺,本文提出了一种使用空气介质填充的毫米波漏波天线。由于该漏波天线的工作模式类似于槽线,且以空气作为介质,因此可以在一个较宽的频带内保持方向图波束指向基本不变。该天线的测试结果和仿真结果吻合较好,工作频带为55 GHz到67 GHz。在工作频段内,天线方向图的波束指向仅变化了5°。