基于低损耗硅微加工工艺的毫米波空气介质槽天线阵列

常乐李越张志军冯正和 · 2017

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硅微加工工艺

会议名称：

2017年全国微波毫米波会议

会议时间：

2017-05-08 00:00:01

会议地点：

中国浙江杭州

摘要：

本文提出了一个利用低损耗硅微加工工艺加工的四单元空气介质槽阵列。与传统硅工艺不同,该低损耗硅工艺利用特有的贯穿式蚀刻和表面镀金工艺,使得硅介质全部被镀金层包裹,从而生产出低损耗空气介质天线。利用该硅工艺加工了一个四单元毫米波空气介质槽阵列,其通过破坏多层共面波导的场对称性来获得有效辐射。天线实物测试结果和仿真结果吻合较好,该天线的工作频带为从58.15GHz到63.23GHz,方向图为扇形波束,峰值增益为12.1d Bi。