利用反射镜结构提高MEMS谐振器品质因数的研究

鲍飞鸿李昕熠李立圆张超秦风鲍蕾蕾鲍景富 · 2017

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反射镜

MEMS谐振器

锚点

Q值

会议名称：

2017年全国微波毫米波会议

会议时间：

2017-05-08 00:00:01

会议地点：

中国浙江杭州

摘要：

本文研究了反射镜(Reflector)结构对MEMS压电谐振器品质因数的影响。反射镜结构的设计原理为:谐振器的锚点外围增设一圈挖空的反射弧,合理设计反射弧与支撑梁之间的距离,使得从反射弧反射回来的机械波与谐振器振动同相位。研究得到反射镜结构可以有效增强谐振器的内部储能,减少谐振器的锚点损耗,提升谐振器的品质因数。本文利用有限元仿真软件COMSOL对有无反射镜结构的谐振器进行了仿真验证,并加工测试得到有反射镜结构的MEMS谐振器的谐振频率为10.03MHz,Q值达到3717,峰值点插入损耗为-20.34d B;无反射镜结构的MEMS谐振器的谐振频率为10.03MHz,Q值达到3329,峰值点插入损耗为-23.90d B。