一种基于切向静电力驱动的三层结构硅微陀螺

本发明公开了一种基于切向静电力驱动的三层结构硅微陀螺,包括上玻璃盖板、下玻璃盖板及采用低电阻率硅制成的硅敏感结构,硅敏感结构布置于上玻璃盖板、下玻璃盖板之间,硅敏感结构的应力释放框架的中部设有主梁,主梁上设有偶数组质量块,每组质量块包括相对主梁对称布置的两个质量块,质量块分别通过支撑梁和主梁相连,上玻璃盖板、下玻璃盖板上均设有偶数组金属电极,一组金属电极和一组质量块一一对应,且每组质量块位于上玻璃盖板上对应的金属电极、下玻璃盖板上对应的金属电极之间。本发明具有驱动振幅不受电容间隙限制、结构对称性好、受空气阻尼影响小、灵敏度高、结构简单的优点。