耐高温多铁性氮化铝薄膜及其制备方法

本发明公开了一种耐高温多铁性氮化铝薄膜及其制备方法。该材料的分子式为Al_x(A_yB_1-y)_1-xN_z；其中,x代表Al的摩尔分数,取值为0.85～0.95；y为0.45～0.8。本发明制备的氮化铝同时具有铁电、铁磁特性,且铁电和铁磁居里温度达到450摄氏度,通过电场可以调制磁性,也可通过磁场调控铁电性。