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单势垒型InGaAsSb红外探测器
向伟
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韩玺
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贺振宏
牛智川
· 2016
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红外探测器
InGaAsSb
暗电流
复合层
势垒
专利权人:
中国科学院半导体研究所
申请人:
中国科学院半导体研究所
通讯地址:
中国科学院半导体研究所
专利类型:
发明专利
专利号:
CN105932092A
摘要:
一种单势垒型InGaAsSb红外探测器,包括:一GaSb衬底;一下接触层,其制作在GaSb衬底上;一复合层,其制作在下接触层上;一上接触层,其制作在复合层上。本发明可以针对目前应变InGaAs探测器的缺陷,该单势垒型InGaAsSb红外探测器具有暗电流小,低噪声的优点。
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