一种高温声表面波传感器的叉指电极材料及其制备方法

本发明公开了一种高温声表面波传感器的叉指电极材料及其制备方法。所述叉指电极材料包括衬底和依次沉积在所述衬底上的Ta缓冲层和Ir#Mo合金薄膜；所述Ir#Mo合金薄膜中,Mo的原子数百分含量为5～10％。本发明制备得到的叉指电极材料的电导率达9.2×10⁶S/m,可适用于声表面波器件中。所述声表面波器件可为高温声表面波器件,器件中心频率1.42GHz,在1000℃环境下退火72小时后,器件性能稳定。本发明叉指电极材料的制备工艺简单,方法先进、科学,能使高温声表面波传感器在更高温度下使用并且有效增加其温度耐受性,使声表面波温度传感器可以应用于一些航天航空、机械冶金高温环境下,其器件具有耐温度高、工作寿命长的特点。