一种调节鳍体形貌的方法

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一种调节鳍体形貌的方法

王桂磊张严波殷华湘李俊峰赵超 · 2017

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专利权人：

中国科学院微电子研究所

申请人：

中国科学院微电子研究所

通讯地址：

中国科学院微电子研究所

专利类型：

发明专利

专利号：

CN106611706A

摘要：

本发明提供了一种调节鳍体形貌的方法,包括：提供衬底,所述衬底上形成有鳍体；对所述衬底进行退火,使得所述鳍体的顶部形成圆滑表面,其中,退火温度范围为：700-900℃,退火时间范围为：10-300s。由于通过对退火温度及退火时间的严格控制,可以解决现有技术中为调节鳍体顶部形貌进行高温退火后,导致鳍体变形过大的问题。

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