微流控表面增强拉曼测试芯片及其制备方法和应用

本发明公开了一种微流控表面增强拉曼测试芯片及其制备方法和应用。该微流控表面增强拉曼测试芯片包括键合连接的基片和盖片,基片上设有微流道、废液池和多个样品池,多个样品池均与微流道的一端连通,废液池与微流道的另一端连通,盖片上集成有采用物理蒸发镀膜工艺制备的阵列型贵金属纳米柱,阵列型贵金属纳米柱伸入微流道中形成拉曼基底检测位点。制备方法包括以下步骤：S1：制备基片；S2：采用物理真空倾斜镀膜法制备集成SER增强基底的盖片；S3：将基片和盖片键合。该芯片具有较高SERS活性、能实现对较低浓度生化物质的快速、高效、高灵敏度、高通量检测,该制备方法工艺简单、效率高、成本低、可批量生产。