摘要：
本发明提供一种通过扫描形貌测量全场实时氧化速率的方法,通过扫描仪器的原位扫描探针成像功能实现对材料表面形貌的实时扫描,进而实现对材料表面在高温环境下全场氧化速率的测量。首先在试件表面预制标记物,然后升温至目标温度,并扫描包括预制标记物的试件表面形貌作为初始形貌,此过程中通入保护性气体防止预制标记物以及预制标记物下方的试件表面氧化。停止通入保护性气体,利用原位扫描成像功能对试件表面氧化形貌进行实时在线记录,对比分析氧化前后试件表面的初始形貌和实时形貌,提取相关数据,利用公式计算试件表面任意位置的氧化速率。本发明为研究材料在微纳米尺度不同温度下的氧化行为提供了一种新方法。
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