摘要：
本发明涉及工程材料技术领域,具体涉及一种纳米压痕法研究膜#基体复合结构力学性质的方法及系统。所述膜#基体复合结构力学性质的方法包括：阳极化处理,在基材表面原位、实时生长氧化膜；压痕处理,中止极化并对所述氧化膜进行压痕处理。所述阳极化处理步骤和所述压痕处理步骤交替进行N次,N≥2,测试不同厚度比条件下的膜#基体复合结构的弹性模量和硬度,利用纳米压痕理论建立实验测量得到的模量和硬度与膜、基体各自的模量和硬度之间的关系。所述测试膜#基体复合结构力学性质的系统包括电化学组件和纳米压痕组件,可以极大程度地拓展纳米压痕仪所能实现的问题研究范围,并为研究电化学环境下薄膜#基体变形机理提供新的分析手段。
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