摘要：
本发明涉及一种用于气相包覆的装置,包括用于盛放液体前躯体的罐体,其顶部设置有进气管、进液管和出气管,其底部设置有加热板；出气管设置有喷头,喷头插入反应腔体的一侧中,反应腔体的另一侧通过冷凝装置与引风设备连接；液体前躯体通过进液管进入到罐体内,在罐体内挥发形成气体后,和通过进气管进入罐体的气体混合,再进入出气管,并由喷头喷入到反应腔体内,与反应腔内的包覆对象进行包覆反应；在包覆反应过程中,由冷凝装置冷凝反应腔体内产生的尾气,及由引风设备将未冷凝的气体及时排出。同时本发明还提供了进行气相包覆的方法。采用本发明中的装置和方法能够实现快速、定量且高度安全可控的使用液相或气液复合前驱体的气相包覆。
会员登录
