MOD工艺在Ag基带上制备YBCO薄膜烧结气氛的探讨
董杰
刘敏
赵跃
刘星
刘丹敏
索红莉
周美玲
· 2004
期刊名称:
国家仪表功能材料工程技术研究中心、中国仪器仪表学会仪表材料学会、重庆仪表材料研究所、《功能材料》编辑部
2004 年
摘要:
采用MOD工艺成功地在多晶AG{110}<110>基带上制备出了YBCO膜.应用X射线衍射仪测试薄膜的成分及织构,用扫描电镜观测薄膜的表面形貌.通过标准四引线法测量薄膜的超导电性,通过实验得出,在MOD制备YBCO膜烧结过程中,烧结气氛湿度对薄膜的形成、纯化起到了关键的作用.在优化的烧结工艺条件下,在多晶AG{110}<110>基带上制备出了JC=1.2*104A/CM2(77K,0T)的YBCO薄膜.