摘要：
本发明涉及一种Mg/Zr极紫外多层膜反射镜及其制作方法,在超光滑的硅片或玻璃基底上镀制打底层,再交替镀制Mg、Zr膜层形成Mg/Zr周期多层膜,然后在周期多层膜上镀制B4C作为保护层.与现有技术相比,本发明采用熔点高、相态稳定的金属Zr作为多层膜的吸收层,制作出的Mg/Zr极紫外多层膜反射镜克服了Mg/SiC等传统的Mg基多层膜热稳定性差的缺点.同时,在极紫外波段Zr的光学常数合适,Mg/Zr多层膜反射镜保持了Mg基多层膜反射镜优异的光学性能.因此,兼顾了光学性能和热稳定性的Mg/Zr多层膜反射镜,适用于同步辐射光源、空间观测等工作环境温度高的极紫外波段应用.
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