一种动态气体锁的试验装置和试验方法

陈进新崔惠绒张立佳谢婉露吴晓斌王宇 · 2016

阅读量：172

专利权人：

中国科学院光电研究院

申请人：

中国科学院光电研究院

通讯地址：

100094北京市海淀区邓庄南路9号

专利类型：

发明专利

专利号：

201610390695.8

公开日期：

2016.08.10

摘要：

本发明公开了一种动态气体锁的试验装置，其包括分别连接所要试验的动态气体锁两端的模拟清洁真空腔室和模拟超清洁真空腔室。模拟清洁真空腔室中有污染发射源，用于发射模拟污染物，该模拟污染物用于模拟诸如极紫外光刻机中硅片表面产生的污染物；模拟超清洁真空腔室中配置有测量腔内气体组分和分压的设备。模拟清洁真空腔室和模拟超清洁真空腔室上分别布置有真空计组。本发明能有效验证动态气体锁的抑制效果。

查看原文