Optical properties and bandgap evolution of ALD HfSiO

Yang Wen Fronk Michael Geng Yang Chen Lin Sun Qing-Qing Gordan Ovidiu D. Zhou Peng Zahn Dietrich R. T. Zhang David Wei · 2015

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期刊名称：

Nanoscale Research Letters 2015 年 10 卷 1 期

发表日期：

2015

摘要：

Hafnium silicate films with pure HfO