一种极紫外多层膜反射镜及其制作方法

张众钟奇王占山 · 2013

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专利权人：

同济大学

申请人：

同济大学

通讯地址：

200092上海市杨浦区四平路1239号

专利类型：

发明专利

专利号：

CN103048712A

公开日期：

2013.04.17

摘要：

本发明涉及一种极紫外多层膜反射镜及其制作方法,该反射镜包括基底、硅铝合金薄膜层及锆薄膜层,硅铝合金薄膜层和锆薄膜层依次交替的沉积在基底上,直至最上层为锆薄膜层,硅铝合金薄膜层及锆薄膜层分别设有35~40层,硅铝合金薄膜层共分为五层,从上到下依次为:硅铝合金超薄膜层、硅超薄膜层、硅铝合金超薄膜层、硅超薄膜层及硅铝合金超薄膜层;制作方法包括以下步骤:首先对基底进行清洗,然后采用直流磁控溅射方法在基底上依次镀制硅铝合金薄膜层和锆薄膜层.与现有技术相比,本发明制备的极紫外多层膜反射镜具有成膜质量好、光学性能满足需求等优势,更适于对反射率要求较高的极紫外光学系统.