窄带Mo/Si多层膜反射镜

吴文娟朱京涛王风丽张众王洪昌张淑敏王占山陈玲燕周洪军霍同林 · 2006

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窄带

期刊名称：

光学仪器 2006 年第4期期

发表日期：

2006

摘要：

设计并制备了窄带MO/SI多层膜反射镜.利用高反射级次和减小MO层厚度两种方法减小MO/SI多层膜反射镜光谱宽度.对MO层厚度分别为2 NM和3 NM的MO/SI多层膜,设计了反射级次分别从1到6的多层膜系.制备方法采用直流磁控溅射技术,在国家同步辐射光谱与计量站上测试.结果表明,带宽随着反射级次增加而减少,在同一反射级次,MO层厚度为2 NM的多层膜反射光谱带宽较小.

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